觸媒焚化法即催化燃燒。在VOC之處理過程中，利用金屬或金屬氧化物所組成之觸媒作為催化劑，使焚化反應可於較低溫中進行達成VOC完全氧化及破壞處理之目的。

　　未達到VOC之高破壞效率(destruvion effeciency) ，一般觸媒焚化系統之操作溫度多介於  200~450℃之間，停留時間0.1~0.25秒之間。觸媒焚化法具有操作溫度低、處理效率高等優點。