觸媒焚化法即催化燃燒。在VOC之處理過程中，利用金屬或金屬氧化物所組成之觸媒作為催化劑，使焚化反應可於較低溫中進行達成VOC完全氧化及破壞處理之目的。

　　未達到VOC之高破壞效率(destruvion effeciency) ，一般觸媒焚化系統之操作溫度多介於  200~350℃之間，停留時間0.1~0.25秒之間。觸媒焚化法具有操作溫度低、處理效率高等優點。

        分子量大約介於50~200，此相當於沸點20~177℃包括脂肪族(Aliphatic)合芳香族(Aromatic)碳氫化合物。

        大部分常用含氯溶劑。包括四氯乙炭、二氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯等。

        大部分常用酮類:如丙酮、丁酮等。以及部份酯類，如乙酸乙酯、乙酸正丁酯等。

        常用醇類:如乙醇、丙醇、丁醇等。

      VOCs焚化為放熱反應，當廢棄濃度升高，焚化爐溫度隨即上升。

　  直接焚化(TO)、續熱式焚化(RTO)需操作在800~900℃，風險相對較高。

     觸媒焚化(CTO)屬於低熱反應(200~400℃)，操作容許範圍較廣，安全性也較高。