濕式處理方式可處理廢氣中之粒狀物，亦可去除廢氣中所含之氣態污染物。

　　其基本原理是利用氣態與液體間之接觸，將氣體中污染物傳送至液體中，再將乾淨氣體與髒液體分離，達成清淨氣體之目的。

　　廢氣中粒狀污染物與水或其他液體接觸後，液滴或液膜擴散附著在廢氣中粒子上，或者藉由增濕使粒子凝集變大，藉重力、慣性力、熱力及靜電力等作用，達到分離去除之目的；而氣態污染物質則藉紊流、分子擴散等質量傳送及化學反應等現象傳送入液體，達到與進流氣體分離之目的。

　　濕式洗滌塔被用作廢氣淨化程序之主要機制有二，首先係利用洗滌液將粒子潤濕，其次再將被潤濕之粒子予以去除、分離。

　　而對於氣態污染物之吸收，則是利用氣體溶解於液體或反應之方式，將氣流中之某種或多種氣體成分，在與液體接觸之過程中加以去除。